Plasmageneratoren der M-Serie

Prozesssicherheit auf höchstem Level:

Plasmavorbehandlungsmodule stellen in automatisierten Produktionsanlagen eine Schlüsseltechnologie dar. Dabei ist höchste Anlagenverfügbarkeit unumgänglich für einen effizienten Produktionsprozess. Die TIGRES Generatoren der M-Serie bieten gegenwärtig im Bereich der Plasmageneratoren den technologisch fortschrittlichsten Leistungsumfang in Hinblick auf Prozesssicherheit sowie Prozessüberwachung.

Separate Leistungsregelung für maximale Anlagenverfügbarkeit:

• Bei vielen üblichen Multikanalsystemen wird die an den Plasmadüsen abzusetzende Leistung durch manuelles Einstellen von Stellgrößen konfiguriert.

• Dabei erfolgt keine Regelung, also kein kontinuierlicher Abgleich, keine Rückkopplung von IST-Wert zu SOLL-Wert.

• Bei Multikanalsystemen der TIGRES M-Serie wird die Leistung kanalspezifisch geregelt, wodurch gewährleistet ist, dass das System Schwankungen (z.B. Netzspannung, Prozessgasstrom, Elektrodenabbrand) dynamisch ausgleichen kann.

• Die Leistung der einzelnen Plasmadüsen kann dabei individuell gewählt werden, auch im laufendem Betrieb.

Modulares Konzept:

• Vernetzbarkeit und zentrale Steuerung von bis zu 16 Generatoren mit jeweils 4 Kanälen

• Verschiedene Plasmaköpfe an einem Generator möglich

• Transparentes Anlagenkonzept mit Ausführung der einzelnen Plasmasysteme als autarkes Teilsystem mit separaten Energiequellen

Inklusive kanalspezifischer Echtzeitüberwachung mit System Quality Index

• Multikanal Plasma Systeme sind üblicherweise als Reihen- oder Parallelschaltung ausgeführt. Dabei kommt nur eine Energiequelle für mehrere Plasmadüsen zum Einsatz und die Phasenlagen der einzelnen Plasmaentladungen sind synchron.

• Diese Ausführung hat den wesentlichen Nachteil, dass nur die Schaltung der Einzeldüsen als Verbund überwacht werden kann, nicht die einzelnen Düsen. Die zum Teil eingesetzte optische Überwachung von Einzeldüsen ist hier deshalb notwendig, weil das zugrunde liegende elektrotechnische Anlagenkonzept keine Einzeldüsenüberwachung und -kontrolle ermöglicht.

• Bei Multikanalsystemen der TIGRES M-Serie ist:

  • Pro Plasmadüse eine Energiequelle und separate Regelung ausgeführt, mit asynchroner Phasenlage der Einzelentladungen

  • Aufnahme des SQI aus der Leistungsregelung als Maß für die Stabilität des Regelkreises für die vollständige Prozessüberwachung

  • Daten-Log mit Analyse Funktionalität für das effektivste Toubleshooting verfügbar

Kompaktes Design:

• Im Vergleich zu anderen Multi-Kanal Generatoren äußerst platzsparende Bauform

Flexible Anbindung:

• I/O Schnittstelle und verschiedene Bus Systeme verfügbar

Einfache Integration:

• In vorhandene Produktionslinien leicht integrierbar, optional über ein externes HMI auch dezentral bedienbar
• Vernetzbarkeit beliebig vieler Generatoren verschiedenster Plasmawerkzeuge über eine Schnittstelle

Kompatible Plasmadüsen:

• T-Spot
• CAT
• MEF